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申请/专利权人：苏州旭创科技有限公司
摘要：本申请公开了一种行波电极调制器及光子集成芯片，该行波电极调制器包括硅基板、设于硅基板内的光波导和掺杂的过渡区，以及与过渡区电连接的行波电极结构；该行波电极结构包括至少一层沿光波导延伸方向连续延伸的连续电极和至少一层沿光波导延伸方向周期性变化的周期性电极，以及导电结构；该连续电极和周期性电极之间、以及行波电极结构和过渡区之间通过导电结构相电连接。在行波电极结构上增加了周期性设计的电极，具有更多可设计的参数，提高了行波电极结构设计的灵活性，可使电磁波的传播速度与光波的传播速度具有更高的匹配度，从而可有效提高调制器的电光调制带宽。
主权项：1.一种行波电极调制器，包括硅基板、设于所述硅基板内的光波导、设于所述光波导两侧并与所述光波导连接的掺杂的过渡区，以及与所述过渡区电连接的行波电极结构；其特征在于：所述行波电极结构包括至少一层沿所述光波导延伸方向连续延伸的连续电极和至少一层沿所述光波导延伸方向周期性变化的周期性电极，以及导电结构；所述连续电极和所述周期性电极之间、以及所述行波电极结构和所述过渡区之间通过所述导电结构相电连接；所述行波电极调制器还包括位于所述光波导上的覆盖层和多层金属层，多层所述金属层分布于所述覆盖层内的不同高度上，所述连续电极与所述周期性电极分别由不同层的所述金属层形成；所述连续电极和所述周期性电极均包括信号极和接地极；位于同一层的所述信号极和接地极之间具有电极间距；位于不同层的所述信号极之间通过所述导电结构电连接，位于不同层的所述接地极之间通过所述导电结构电连接；所述过渡区分别位于所述光波导两侧并形成PN结，所述光波导用于传播光波；所述行波电极结构用于传播数字信号，并将数字信号施加到所述光波导两侧的过渡区，以在所述PN结间形成电磁场，通过所述PN结间的电磁场改变所述光波导中的载流子浓度来改变所述光波导的折射率；所述信号极均位于所述光波导的同一侧并通过所述导电结构电连接所述光波导该侧的所述掺杂的过渡区；所述接地极均位于所述光波导与所述信号极相背的另一侧，并通过所述导电结构电连接所述光波导的该另一侧的所述掺杂的过渡区。
全文数据：
权利要求：
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