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申请/专利权人：日新离子机器株式会社
摘要：本发明涉及一种离子束照射装置，所述离子束照射装置不使用灯具加热器或钨丝等的发热体，而可在广范围加热真空容器壁面，以使水成分挥发。本发明的离子束照射装置在开放至大气后的基板处理前，对构成离子束的输送路的真空容器壁面扫描离子束。
主权项：1.一种离子束照射装置，其在开放至大气后的基板处理前，通过对构成离子束的输送路的真空容器壁面扫描使用惰性气体而成的离子束来加热所述真空容器壁面，以使附着于所述真空容器壁面的水分蒸发；所述离子束照射装置并具备：真空计，其量测所述真空容器内的压力；依照使用所述真空计所量测的压力，变更所述离子束的扫描速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日新离子机器株式会社 离子束照射装置
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