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电子束发生器及离子束刻蚀设备 

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申请/专利权人:北京北方华创微电子装备有限公司

摘要:本发明提供一种电子束发生器及离子束刻蚀设备,该电子束发生器包括:电子束生成腔体,具有引出口;遮挡组件,可活动地设置于电子束生成腔体之外;遮挡组件被设置为遮挡引出口,且能够通过调节遮挡组件的位置来调节引出口的引出面积。本方案可以根据电子束生成腔体内部的等离子体密度幅值的大小,通过遮挡组件调节引出口的引出面积,可以使该引出面积能够适配等离子体鞘层形态变化,使电子引出效率始终维持在较大幅值,从而有效提高了电子束发生器的性能和稳定性。

主权项:1.一种电子束发生器,其特征在于,包括:电子束生成腔体,具有引出口;遮挡组件,可活动地设置于所述电子束生成腔体之外;所述遮挡组件被设置为遮挡所述引出口,且能够通过调节所述遮挡组件的位置来调节所述引出口的引出面积;所述遮挡组件包括在周向上依次排布的多个遮挡板,多个所述遮挡板的内周面合围构成引出控制口,所述引出控制口与所述引出口对应设置;多个所述遮挡板均能够沿所述引出控制口的径向移动,且在所述引出控制口的径向上的不同位置处合围构成开口面积不同的所述引出控制口;所述电子束发生器还包括环形安装件,所述环形安装件的环孔与所述引出口同轴设置;所述环形安装件上形成有沿所述环形安装件的周向依次排布的多个导向槽,每个所述导向槽均在所述环形安装件的内周面上形成有开口;各所述遮挡板一一对应地设置于各所述导向槽中,且能够沿所述引出控制口的径向经由所述开口伸入至所述环孔中,并且各所述遮挡板的内周面与所述开口均朝向所述环孔。

全文数据:

权利要求:

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