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申请/专利权人：广东芯华镁半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体、冰水机和热水器，所述冰水机和热水器之间设有两个连接管，两个所述连接管上分别固定连接有进水管和出水管，所述槽体的侧壁内开设有回形腔，本实用新型采用热水器将热水通过进水管向螺旋管和蛇形管内输送，最后经过出水管流出，以此形成热水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液加温，再通过冰水机向进水管内输送冷水，冷水经过螺旋管和蛇形管输送，最后通过出水管流出，以此形成冷水循环，通过热传递的方式对槽体内的混合溶液降温，螺旋管和蛇形管均设置在槽体的内部，便于对槽体内的混合溶液控温，从而提高槽体的降温效果。
主权项：1.一种半导体具有温控功能的碱蚀槽，包括槽体1、冰水机2和热水器3，其特征在于，所述冰水机2和热水器3之间设有两个连接管8，两个所述连接管8上分别固定连接有进水管4和出水管5，所述槽体1的侧壁内开设有回形腔，所述回形腔内设有螺旋管6，所述螺旋管6与进水管4固定连接，所述槽体1的底板内开设有空腔，所述空腔内设有蛇形管7，且蛇形管7的一端与螺旋管6固定连接，所述蛇形管7的另一端与出水管5固定连接。
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权利要求：
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