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一种探针卡结构 

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申请/专利权人:上海华虹宏力半导体制造有限公司

摘要:本申请公开了一种探针卡结构,涉及集成电路领域。该探针卡结构包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针;所述电路板上开设有检测窗口,所述电路板内设置有测试电路;所述探针悬臂承载环通过所述固定环固定在所述电路板的下方,所述探针悬臂承载环的下端位于所述检测窗口的下方;所述测试探针的顶端焊接在所述电路板的背面,所述测试探针与所述电路板中的测试电路连接,所述测试探针的下半部分固定在所述探针悬臂承载环的底部;所述测试探针的针尖暴露在所述检测窗口的下方;解决了传统探针卡上的检测窗口较小,难以适用于特殊检测情况的问题;有助于在利用探针卡检测芯片时,提供宽阔的操作空间和观察视野。

主权项:1.一种探针卡结构,其特征在于,包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针;所述电路板上开设有检测窗口,所述电路板内设置有测试电路;所述探针悬臂承载环通过所述固定环固定在所述电路板的下方,所述固定环套设在所述检测窗口的边缘,所述固定环的顶端位于所述电路板的正面,所述固定环的底端位于所述电路板的背面,所述固定环的内部设置有螺栓,所述固定环通过所述螺栓与所述电路板连接;所述探针悬臂承载环的顶部固定于所述固定环的底端;所述探针悬臂承载环的下端位于所述检测窗口的下方,所述探针悬臂承载环的横截面为两个楔形图形;所述测试探针的顶端焊接在所述电路板的背面,所述测试探针与所述电路板中的测试电路连接,所述测试探针的下半部分固定在所述探针悬臂承载环的底部;所述测试探针的针尖暴露在所述检测窗口的下方。

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权利要求:

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