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申请/专利权人：苏州展德自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及LED晶圆扩张翻边装置，包括直线驱动机构以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板和支撑架，支撑架上固定一底板，底板上竖立安装有导向柱，中部安装有丝杠支座，丝杠支撑于丝杠支座上，升降板套置于导向柱上，升降板的中部安装有与丝杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撑柱，支撑柱的顶端连接固定盘，固定盘上开设有容纳槽，加热盘置于容纳槽内，固定盘的边缘部设有环形凹槽，膜片撑环嵌入环形凹槽中，固定盘上安装扩晶盘，扩晶盘的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱的顶端安装有扩晶载板，其上安装有旋转压紧机构。自动化实现扩晶后翻边，使扩晶后的膜片长时间保持张力不变，扩晶效率高，效果好。
主权项：1.LED晶圆扩张翻边装置，其特征在于：包括直线驱动机构（1）以及连接于其上的晶圆扩张机构，晶圆扩张机构包含连接固定板（2）以及安装其上的支撑架（3），支撑架（3）上固定一底板（4），底板（4）上竖立安装有导向柱（15），中部安装有丝杠支座（23），丝杠（11）旋转自如地支撑于丝杠支座（23）上，升降板（17）通过直线轴承（6）配合于导向柱（15）上，升降板（17）的中部安装有与丝杠（11）相旋配的螺母（7），丝杠（11）转动可驱动升降板（17）沿导向柱（15）上下运动，升降板（17）上固定一支撑柱（16），支撑柱（16）的顶端连接固定盘（14），固定盘（14）上开设有用于安装加热盘（10）的容纳槽，加热盘（10）置于容纳槽内，固定盘（14）的边缘部设有用于嵌装膜片撑环（13）的环形凹槽，膜片撑环（13）嵌入环形凹槽中，固定盘（14）上安装扩晶盘（12），扩晶盘（12）的外缘设有用于容纳内环的限位台阶部，导向柱（15）的顶端安装有扩晶载板，扩晶载板连接有支撑板（8），支撑板（8）上安装有旋转压紧机构（9）；直线驱动机构（1）的运动轨迹上方依次设有用于放置内环的供给机构、膜片搬运机构、压板机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州展德自动化设备有限公司 LED晶圆扩张翻边装置
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