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申请/专利权人：博纯(泉州)半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了乙硼烷冷媒循环装置，涉及冷媒设备技术领域，包括压缩机、冷凝器、膨胀阀、蒸发器，压缩机与冷凝器之间通过管路连接，冷凝器与膨胀阀以及膨胀阀与蒸发器之间也通过管路连接，而蒸发器与压缩机之间也通过管路连接，且压缩机与控制器还通过连接线电性连接，膨胀阀为电子膨胀阀并也通过连接线与控制器电性连接。利用压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器、控制器的设置，可对乙硼烷进行循环，从而利用蒸发器对反应釜进行升温或者降温处理，另外，蒸发器由多个传导管以及两个入液管、出液管组成，可将乙硼烷冷媒分流至多个传导管内，配合传导管内侧的导温毛细管与外侧的导温片，可均匀地对反应釜不同位置进行调温处理。
主权项：1.乙硼烷冷媒循环装置，其特征在于：包括压缩机（1）、冷凝器（2）、膨胀阀（3）、蒸发器（4），所述压缩机（1）与冷凝器（2）之间通过管路连接，所述冷凝器（2）与膨胀阀（3）以及膨胀阀（3）与蒸发器（4）之间也通过管路连接，而所述蒸发器（4）与压缩机（1）之间也通过管路连接，且所述压缩机（1）与控制器（13）还通过连接线电性连接，所述膨胀阀（3）为电子膨胀阀并也通过连接线与控制器（13）电性连接，所述蒸发器（4）还包括多个传导管（5），所述传导管（5）之间通过连接管（9）与出液管（7）固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 博纯(泉州)半导体材料有限公司 乙硼烷冷媒循环装置
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