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坩埚及单晶炉 

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申请/专利权人:无锡松瓷机电有限公司

摘要:本实用新型涉及一种坩埚及单晶炉。本实用新型中的坩埚包括坩埚本体及抑流结构;坩埚本体包括侧壁及埚底;抑流结构布置在坩埚本体的侧壁内和或埚底上,抑流结构用于降低坩埚本体内盛放的硅液的对流。通过在坩埚本体内布置抑流结构,可降低坩埚本体内盛放的硅液的对流,减小硅液液面的波动;通过采用设置有抑流结构的坩埚,使单晶炉在拉制晶棒时降低了坩埚内的硅液热对流现象,提高了晶棒的品质。

主权项:1.一种坩埚,其特征在于,所述坩埚包括坩埚本体及抑流结构;其中:所述坩埚本体包括侧壁及埚底;所述抑流结构布置在所述坩埚本体的侧壁内和或埚底上,所述抑流结构用于降低所述坩埚本体内盛放的硅液的对流;所述抑流结构包括至少一根抑流柱,所述抑流柱的横截面形状为圆形、椭圆形或者带圆角的多边形,所述抑流柱的一端固定在所述坩埚本体的侧壁内或者埚底上。

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权利要求:

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