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申请/专利权人:常州裕能石英科技有限公司
摘要:本发明属于无机非金属材料制造技术领域,尤其是涉及一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置,包括底座,还包括:承托机构、加压排水机构、排水量计算机构、排水速率反馈调控机构、排水计时触发机构、加压力调节机构和形变大小监测显示机构。本发明能够将坩埚胚体中的水分快速排出,并提供不同的加压力满足含水量不同的坩埚胚体水分排出的需求,进而有效提高坩埚的致密性,能够基于排水速率对排水加压力的大小进行自动调控,在保证稳定排水的前提下,还能避免直接过大的加压力会对坩埚造成损伤的问题,能够对最终坩埚胚体的加压变形程度进行监测,进而反馈准确的信息给予技术人员。
主权项:1.一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置,包括底座(1),其特征在于,还包括:承托机构(2),固定安设在所述底座(1)上;加压排水机构(3),固定安设在所述承托机构(2)上,用于提供加压力;排水量计算机构(4),固定安设在所述底座(1)和承托机构(2)之间;排水速率反馈调控机构(5),固定安设在所述底座(1)的上端,且与排水量计算机构(4)传动连接;排水计时触发机构(6),固定安设在所述承托机构(2)上,用于控制排水量计算机构(4)的间隔启动动作;加压力调节机构(7),固定安设在所述加压排水机构(3)外,用于对加压排水机构(3)的加压力进行自动调控;形变大小监测显示机构(8),固定安设在所述加压排水机构(3)上,用于对坩埚加压过程中的形变程度进行监测显示。
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百度查询: 常州裕能石英科技有限公司 一种能拉制多颗单晶硅的石英坩埚的制造装置
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