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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司;北京凯德石英股份有限公司
摘要：本申请涉及一种石英外管，包括外管体、法兰和排气管；法兰与外管体底部固定连接，外管体用于罩设于内管；内管为直通管，内管端部外周间隔设置若干个凸块；法兰内周开设有容纳凸块的安装环槽，法兰内周开设有供凸块穿设的连通槽，连通槽与安装环槽相连通；安装环槽一侧开设有限位槽，限位槽与连通槽交错设置，凸块用于与限位槽的槽侧壁相抵接；此时，内管与外管之间设有供气体流动的间隙，法兰开设有若干个进气口，进气口设置于安装环槽远离靠近连通槽一侧；排气管与外管相连接。在本申请中，内管底部与法兰上的进气口具有一段距离，从而反应气体可以通过外管上的进气口直接进入内管。
主权项：1.一种石英外管，其特征在于：包括外管体（2）、法兰（3）和排气管（4）；所述外管体（2）用于罩设内管（1）；所述外管体（2）包括筒体（21）和穹顶（22），所述穹顶（22）覆盖所述筒体（21）一侧开口，所述穹顶（22）与所述筒体（21）一体成型；所述法兰（3）固设于所述筒体（21）远离穹顶（22）一侧，所述法兰（3）内周与所述筒体（21）内周之间设有间隙，所述法兰（3）与所述筒体（21）一体成型；所述内管（1）为直通管，所述内管（1）端部外周间隔设置若干个凸块（11）；所述法兰（3）内周开设有容纳所述凸块（11）的安装环槽（32），所述法兰（3）内周开设有供所述凸块（11）穿设的连通槽（31），所述连通槽（31）与安装环槽（32）相连通；所述安装环槽（32）远离所述穹顶（22）一侧开设有限位槽（33），所述限位槽（33）与所述连通槽（31）交错设置，所述凸块（11）用于与所述限位槽（33）的槽侧壁相抵接；此时，所述内管（1）与所述外管之间设有供气体流动的间隙；所述法兰（3）开设有若干个进气口（34），所述进气口（34）设置于所述安装环槽（32）远离靠近连通槽（31）一侧；所述排气管（4）与所述外管相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 北京凯德石英股份有限公司 一种石英外管
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