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申请/专利权人：山东强茂电子科技有限公司

摘要：本发明公开了晶圆的台面结构自动外检机，涉及晶圆检测技术领域，包括检测台，所述检测台的顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台上安装有检测探头，所述检测台的顶端滑动连接有两个检测座，两个所述检测座之间固定连接有连接座，晶圆通过固定机构固定在所述检测座上，所述检测座通过切换机构进行移动。本发明通过设置固定机构和切换机构，当一个晶圆位于检测座上进行检测时，可将后一个晶圆固定在另一个检测座上，晶圆检测完成后，推动检测座和连接座进行移动，对另一个检测座上的晶圆进行检测，同时自动解除检测完的晶圆的固定，方便对晶圆进行更换，便于对晶圆进行检测，提高了对晶圆的检测效率。

主权项：1.晶圆的台面结构自动外检机，包括检测台（1），所述检测台（1）的顶端安装有三轴滑台（2），所述三轴滑台（2）上安装有检测探头（3），其特征在于，所述检测台（1）的顶端滑动连接有两个检测座（4），两个所述检测座（4）之间固定连接有连接座（5），晶圆通过固定机构（6）固定在所述检测座（4）上，所述检测座（4）通过切换机构（7）进行移动；所述固定机构（6）包括有放置槽（601），所述放置槽（601）开设于所述检测座（4）的顶端，所述放置槽（601）的内壁开设有导向槽（602），所述导向槽（602）的内壁滑动连接有夹杆（603），所述夹杆（603）的底端转动连接有连杆（604），所述连杆（604）的一端转动连接有转动盘（605），所述转动盘（605）的底端转动连接有棘轮（606），所述检测座（4）的内部开设有供所述棘轮（606）进行转动的转动槽（607），所述棘轮（606）的底端固定连接有支撑轴（608），所述支撑轴（608）与所述检测座（4）转动连接，所述棘轮（606）与所述转动槽（607）之间位于所述支撑轴（608）的外壁连接有扭簧（609），所述检测座（4）的内部位于所述棘轮（606）的一侧滑动连接有卡块（610），所述卡块（610）与所述检测座（4）之间连接有第一弹簧（611），所述检测座（4）的外壁转动连接有转动柱（613），所述转动柱（613）的一端固定连接有锥齿轮（612），所述锥齿轮（612）与所述转动盘（605）相接触。

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