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一种单晶硅棒金刚线切割液 

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申请/专利权人:武汉宜田科技发展有限公司

摘要:本发明属于晶硅太阳能硅棒切割技术领域,具体涉及一种单晶硅棒金刚线切割液。该发明的单晶硅棒金刚线切割液由丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、羧甲基纤维素钠、纳米固体自润滑材料或固体自润滑材料乳液、炔二醇双子表面活性剂、有机溶剂、有机硅消泡剂和去离子水组成。含有的长链高分子组分和自润滑材料能显著保护切割过程中的金刚线,降低金刚线由于磨损导致的断线,从而达到降低断线率、提升良率的效果。

主权项:1.一种单晶硅棒金刚线切割液,其特征在于所述的单晶硅棒金刚线切割液的原料组成按重量以份数计算包括:丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚20-70份、羧甲基纤维素钠0.05-5份,纳米固体自润滑材料或固体自润滑材料乳液0.05-10份、炔二醇双子表面活性剂3-40份、有机溶剂0-30份、有机硅消泡剂0-5份、去离子水5-60份;所述的丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中聚氧乙烯含量为10%-40%,所述的丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚分子量为1500-4500;所述的羧甲基纤维素钠分子量为90000-700000;所述的纳米固体自润滑材料为聚四氟乙烯、聚缩醛、聚苯硫醚、聚甲醛、聚酰胺、聚碳酸酯、聚砜、聚酰亚胺中的一种或几种;所述的固体自润滑材料乳液为二硫化钼乳液;所述的炔二醇双子表面活性剂为炔二醇分子中加成的环氧乙烷的摩尔数为0-3;所述的有机溶剂为醇醚类溶剂为乙二醇丁醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇丁醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚等中的一种或几种;所述的有机硅消泡剂为AFE-3183、AFE-0800、和TEGOAirex901W、TEGOAirex902W中一种或几种。

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权利要求:

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