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申请/专利权人：浙江众合科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅片衬底边缘腐蚀装置，包括主体基座以及设于主体基座的硅片载台，硅片载台用于承载硅片，该装置还包括三维运动手臂以及与三维运动手臂连接的腐蚀系统，所述腐蚀系统包括注射器组件，所述注射器组件包括注射器I、注射器II和注射器III，所述注射器I、注射器II和注射器III分别用于喷射腐蚀液、纯水以及SC‑1药液，所述三维运动手臂按照预设运动路径带动注射器组件运动。本实用新型解决了现有技术中碱腐蚀硅片的边缘不良问题。
主权项：1.一种单晶硅片衬底边缘腐蚀装置，包括主体基座以及设于主体基座的硅片载台，所述硅片载台用于承载硅片，其特征在于，该装置还包括三维运动手臂以及与三维运动手臂连接的腐蚀系统，所述腐蚀系统包括注射器组件，所述注射器组件包括注射器I、注射器II和注射器III，所述注射器I、注射器II和注射器III分别用于喷射腐蚀液、纯水以及SC-1药液，所述三维运动手臂带动注射器组件运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江众合科技股份有限公司 一种单晶硅片衬底边缘腐蚀装置
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