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申请/专利权人：浙江富同石英新材料有限公司
摘要：本实用新型公开了高强度新型石英舟托，包括有内舟托和外舟托，内舟托包括有左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间连接有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，底支撑杆上和侧支撑杆上分别设有夹槽，左侧板上盖有左顶板，右侧板上盖有右顶板，左顶板和左顶板之间固定连接有若干顶限位杆，外舟托包括有底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板。本实用新型的高强度新型石英舟托，通过设置内舟托和外舟托对内部产品形成双层保护，有效的减少了石英舟托内部产品的晃动，减少收到外力作用磕碰划伤的可能。同时不影响产品放入高温退火炉中退火等加工的正常进行。本申请的高强度新型石英舟托适合12英寸及以上大尺寸硅片产品的使用。
主权项：1.高强度新型石英舟托，其特征在于，包括有内舟托和外舟托，所述内舟托设于外舟托内部，所述内舟托包括有左侧板和右侧板，左侧板和右侧板之间连接有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆位于底支撑杆的上方两侧，底支撑杆上和侧支撑杆上分别设有夹槽，底支撑杆上的夹槽和侧支撑杆上的夹槽一一对应，左侧板上盖有左顶板，右侧板上盖有右顶板，左顶板和左顶板之间固定连接有若干顶限位杆，所述外舟托包括有底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板，所述底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板围成上端带有开口的盒体结构，所述活动顶板可拆卸的盖住开口，所述底板、左端板、右端板、前侧板、后侧板和活动顶板上分别设有连通外舟托内部的窗口，所述内舟托和外舟托分别由石英材料制成。
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权利要求：
百度查询： 浙江富同石英新材料有限公司 高强度新型石英舟托
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