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申请/专利权人：TSE有限公司
摘要：本发明的优点在于通过调节由多个块构成的间隔件的高度，调整突出到下部板下侧的探针的突出长度，从而增加检测次数，延长探针头的寿命，并且缩短更换和重新安装探针头所需的工作时间，从而防止检测工艺的延误，并降低工艺成本。
主权项：1.一种调整探针的突出长度的探针头，其为用于测试半导体器件的探针头，其特征在于，包括：上部板，形成有第一容纳孔；下部板，与所述上部板隔开形成，并形成有第二容纳孔；探针，结合到所述上部板和所述下部板，所述探针的上侧部容纳在所述第一容纳孔中并上侧尖端突出到所述上部板上侧，并且所述探针的下侧部容纳在所述第二容纳孔中并下侧尖端突出到所述下部板下侧；以及间隔件，形成在所述上部板和所述下部板之间，以隔开所述上部板和所述下部板，从而提供能够容纳所述探针的中间部的空间部，所述间隔件由多个块沿上下方向堆叠形成，所述块可选择性地移除以调节所述空间部的高度，从而调整突出到所述下部板下侧的所述探针的下侧尖端的突出长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： TSE有限公司 调整探针的突出长度的探针头
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