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申请/专利权人：无锡钧源达电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种全自动晶圆探针台，包括工作平台、支撑底座、滑动齿圈、传动齿轮、滚珠螺杆、滑动座、滑动槽以及滚珠螺孔，工作平台上端面安装有固定盒体，工作平台上端面设置有探针台本体，固定盒体内部开设有滑动槽，滑动槽活动连接有滑动座，滑动座贯穿设置有滚珠螺杆，滚珠螺杆左右两端面安装有传动齿轮且与滑动齿圈贴合啮合连接，滑动座上端面安装有支撑架，支撑架内部安装有电动推杆，电动推杆输出端安装有活动杆，活动杆下端面安装有挤压板，滑动座内部开设有滚珠螺孔且与滚珠螺杆贴合转动连接，该设计通过电动推杆带动挤压板向下压紧晶圆，使得晶圆在被固定后不容易产生晃动，提高探针对晶圆的检测数据的准确性，实用性好。
主权项：1.一种全自动晶圆探针台，包括支撑底座、滑动齿圈、传动齿轮、滚珠螺杆、滑动座、滑动槽以及滚珠螺孔，其特征在于：所述支撑底座内部安装有伺服电机，所述伺服电机输出端设置有旋转轴，所述旋转轴左右两端面安装有连接杆，所述连接杆左右两端面贴合固定有滑动齿圈，所述旋转轴贯穿伸出工作平台，所述工作平台上端面安装有固定盒体，所述工作平台上端面设置有探针台本体；所述固定盒体内部开设有滑动槽，所述滑动槽活动连接有滑动座，所述滑动座贯穿设置有滚珠螺杆，所述滚珠螺杆左右两端面安装有传动齿轮且与滑动齿圈贴合啮合连接，所述滑动座上端面安装有支撑架，所述支撑架内部安装有电动推杆，所述电动推杆输出端安装有活动杆，所述活动杆下端面安装有挤压板，所述滑动座内部开设有滚珠螺孔且与滚珠螺杆贴合转动连接。
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百度查询： 无锡钧源达电子科技有限公司 一种全自动晶圆探针台
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