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申请/专利权人:江苏卓胜微电子股份有限公司
摘要:本申请公开了一种晶圆偏移检测装置及系统,属于半导体技术领域。所述晶圆偏移检测装置包括:卡盘,包括承载面,用于承载晶圆;多个第一偏移检测传感器,均匀分布在所述卡盘的周侧,多个所述第一偏移检测传感器位于一个圆周上,且所述圆周的中心点与所述承载面的中心点重合,所述圆周的半径与所述晶圆的半径相同。本申请能够能够精确及时地检测晶圆是否发生偏移,提高晶圆的良率。
主权项:1.一种晶圆偏移检测装置,其特征在于,包括:卡盘,包括承载面,用于承载晶圆;多个第一偏移检测传感器,均匀分布在所述卡盘的周侧,多个所述第一偏移检测传感器位于一个圆周上,且所述圆周的中心点与所述承载面的中心点重合,所述圆周的半径与所述晶圆的半径相同。
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百度查询: 江苏卓胜微电子股份有限公司 晶圆偏移检测装置及系统
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