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申请/专利权人:西安电子科技大学;合肥欧益睿芯科技有限公司;吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司
摘要:本实用新型涉及一种晶圆。该晶圆的周侧边缘开设有定位缺口,晶圆具有第一区域和与第一区域相邻接的第二区域,第二区域与定位缺口相邻接;其中,第二区域的透光率小于第一区域的透光率。如此,由于在晶圆上设置了透光率较低的第二区域,且该第二区域与定位缺口相邻接,因此透过第二区域的光学信号与透过定位缺口的光学信号差别较大,从而在对晶圆进行预对准时视觉定位系统能够更加容易的识别到定位缺口的位置信息,并根据该位置信息实现对晶圆的预对准,避免了由于是透明晶圆即第一区域为透明状态而导致无法识别定位缺口的现象发生。
主权项:1.一种晶圆,其特征在于,所述晶圆10的周侧边缘开设有定位缺口12,所述晶圆10具有第一区域101和与所述第一区域101相邻接的第二区域102,所述第二区域102与所述定位缺口12相邻接;其中,所述第二区域102的透光率小于所述第一区域101的透光率。
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百度查询: 西安电子科技大学 合肥欧益睿芯科技有限公司 吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司 一种晶圆
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