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申请/专利权人：赛光半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆落槽机构，涉及传送设备技术领域，包括总安装板和螺丝，所述总安装板的底端设有电机安装板，所述电机安装板上安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有联轴器，所述总安装板位于联轴器的一端设置有丝杆安装块一，所述总安装板位于联轴器远离伺服电机的一端连接有丝杆安装块二，所述丝杆安装块一、丝杆安装块二之间转动连接有丝杆，本机构设计则通过导轨滑块进行，晶圆支撑杆用于对晶圆的托起以及落槽，由于其自身通过托接而间接达到的减震性能，避免晶圆在移动过程中发生破裂，该机构通过导轨滑块、丝杆确保了整个机构在上下移动时的精度以及稳定性。
主权项：1.一种晶圆落槽机构，包括晶圆支撑杆1、总安装板3和螺丝16，其特征在于：所述总安装板3的底端设有电机安装板11，所述电机安装板11上安装有伺服电机15，所述伺服电机15的输出端连接有联轴器10，所述总安装板3位于联轴器10的一端设置有丝杆安装块一2，所述总安装板3位于联轴器10远离伺服电机15的一端连接有丝杆安装块二8，所述丝杆安装块一2、丝杆安装块二8之间转动连接有丝杆7，所述晶圆支撑杆1位于丝杆7的两端均设置有导轨安装块14，所述导轨安装块14上均设置有导轨滑块6，所述丝杆7位于丝杆安装块一2、丝杆安装块二8之间设置有滑动板5，所述滑动板5靠近丝杆安装块一2的端部侧壁固定有晶圆支撑杆1，所述滑动板5的一侧安装有感应片12，所述总安装板3位于感应片12方向的位置上设置有两个传感器13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 赛光半导体科技(苏州)有限公司 一种晶圆落槽机构
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