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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆翻转装置，通过机械手将晶圆放置到夹持移动座处，夹持驱动器驱动两侧的夹持移动座靠近从而夹持住晶圆，旋转驱动器驱动旋转架连同夹持着晶圆的夹持移动座旋转度，外框架底部具有接头，接头与抽气设备连接，抽气设备工作时，可以将运动部件运动时的碎屑抽走，防止碎屑对晶圆产生影响，保护晶圆安全。
主权项：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：外框架1，内部具有安装空间，至少前端具有开口；旋转架2，转动地设置在外框架1内；旋转驱动器3，用于驱动旋转架2转动；夹持移动座4，分别设置在旋转架2相对的两侧，每侧的所述夹持移动座4上设置有至少一组夹持臂41，所述夹持臂41上设置有用于夹持晶圆9的固定柱42；夹持驱动器5，设置在旋转架2上，用于驱动两侧的夹持移动座4靠近或者远离；所述外框架1底部具有接头6，所述接头6与抽气设备连接，以将外框架1内的碎屑抽走。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种晶圆翻转装置
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