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一种电子束静电偏转驱动电源 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十八研究所

摘要:本发明公开了一种电子束静电偏转驱动电源,包括数据处理单元、基准电源单元、数据转换单元、功率放大单元、输出反馈单元以及供电单元;数据处理单元、数据转换单元、功率放大单元和输出反馈单元依次相连;基准电源单元与数据转换单元相连,用于向数据转换单元提供基准电压信号;供电单元分别与各单元相连;数据处理单元,用于接收上位机的扫描位置坐标信号;数据转换单元,用于接收数字坐标信号并转换成对应的模拟电压信号;功率放大单元,用于将模拟电压信号进行线性功率放大以驱动静电偏转器;输出反馈单元,用于采集功率放大单元输出端的电压并反馈至上位机以生成校正数据来进行闭环控制。本发明具有高速高精度等优点。

主权项:1.一种电子束静电偏转驱动电源,其特征在于,包括数据处理单元10、基准电源单元20、数据转换单元30、功率放大单元40、输出反馈单元50以及供电单元60;所述数据处理单元10、数据转换单元30、功率放大单元40和输出反馈单元50依次相连;所述基准电源单元20与所述数据转换单元30相连,用于向数据转换单元30提供基准电压信号;所述供电单元60分别与各单元相连,用于提供所需电源;所述数据处理单元10,用于接收上位机的扫描位置坐标信号并发送至数据转换单元30;所述数据转换单元30,用于接收来自数据处理单元10的数字坐标信号,并将该数字坐标信号转换成对应的模拟电压信号;所述功率放大单元40,用于将来自数据转换单元30的模拟电压信号进行线性功率放大以驱动静电偏转器;所述输出反馈单元50,用于采集功率放大单元40输出端的电压并反馈至上位机以生成校正数据来进行闭环控制。

全文数据:

权利要求:

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