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申请/专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
摘要：本申请公开了一种晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置和方法，其中控制晶圆托架以符合预定的角速度‑时间曲线的方式摆动，所述角速度‑时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，每一个所述加速段和减速段中的瞬时加速度绝对值小于等于200rads2，优选小于等于10rads2，并且所述加速段和减速段的时间长度总和为所述角速度‑时间曲线的时间长度总和的50%以上。根据本发明，可以避免转动角速度发生剧烈变化，保护晶圆免受损坏，还可以有利于提高晶圆液下偏转的操作效率。
主权项：1.一种晶圆液下偏转装置，包括晶圆托架和用于驱动晶圆托架在第一定向和第二定向之间摆动的驱动机构，其中所述驱动机构控制所述晶圆托架以符合预定的角速度-时间曲线的方式从所述第一定向摆动到第二定向，所述角速度-时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段，每一个所述加速段和减速段中的瞬时加速度绝对值小于等于200rads2，并且所述加速段和减速段的时间长度总和为所述角速度-时间曲线的时间长度总和的50％以上；所述驱动机构包括摆动轴和驱动摆动轴旋转的电机组件，所述晶圆托架与所述摆动轴连接以随摆动轴摆动；所述晶圆托架包括弓形托臂，所述弓形托臂的轮廓为90°～180°的圆弧。
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权利要求：
百度查询： 清华大学 华海清科股份有限公司 晶圆液下偏转装置以及晶圆处理装置和方法
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