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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及机械光栅刻划技术领域，具体涉及一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法，刻划系统包括刻划轨迹规划机构和刻划运动执行机构，刻划轨迹规划机构包括分度运动机构、刻划运动机构和刻划承载台，刻划运动机构与分度运动机构共同组成正交回转轴系，刻划承载台上设有校正调节机构，光栅基底位于校正调节机构上，刻划运动执行机构包括刀架承载台和对刀位移台，刻划时，刻划刀具对光栅基底进行单向挤压刻划。刻划方法包括：S1、进行光栅基底刻划前的装调准备工作；S2、在光栅基底上进行机械刻划。本发明可实现大口径、小闪耀角、高槽形精度的凸面光栅机械刻划。
主权项：1.一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统，其特征在于，包括刻划轨迹规划机构和刻划运动执行机构（7）；所述刻划轨迹规划机构包括分度运动机构（1）、刻划运动机构（2）和刻划承载台（3），刻划运动机构（2）连接于分度运动机构（1）上，刻划运动机构（2）的轴线与分度运动机构（1）的轴线相垂直，刻划运动机构（2）与分度运动机构（1）共同组成正交回转轴系；刻划承载台（3）连接于刻划运动机构（2）上；刻划承载台（3）上设有校正调节机构（4）且光栅基底（5）放置于校正调节机构（4）上，光栅基底（5）由分度运动机构（1）带动沿光栅周期方向运动、由刻划运动机构（2）带动沿光栅刻线方向运动；所述刻划运动执行机构（7）包括刀架承载台（8）和滑动位于刀架承载台（8）上的对刀位移台（9），对刀位移台（9）上设有用以支撑刻划刀具（31）的刀架支撑机构（10）和用以驱动刀架支撑机构（10）伸缩以实现刻划刀具（31）抬刀落刀动作的抬落刀驱动机构（11）；刻划时，刻划刀具（31）对光栅基底（5）进行单向挤压刻划。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法
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