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申请/专利权人:TOTO株式会社
摘要:本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够进一步抑制电弧放电的发生。具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面;基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;及第1多孔质部,设置在所述基座板与所述陶瓷电介体基板的所述第1主面之间且与所述气体导入路相对的位置,其特征为,所述第1多孔质部具有分别具有多个孔且相互离开设置的多个疏松部分,所述多个疏松部分分别在相对于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向以规定角度倾斜的方向上延伸。
主权项:1.一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面;基座板,支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路;穿通孔,设置在所述陶瓷电介体基板的与所述气体导入路相对的位置,穿通所述陶瓷电介体基板;及第1多孔质部,设置于所述穿通孔,其特征为,所述第1多孔质部具有分别具有多个孔且相互离开设置的多个疏松部分,所述多个疏松部分分别在相对于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板且垂直于所述陶瓷电介体基板的第1方向以规定角度倾斜的方向上延伸。
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