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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。
主权项：1.一种基板保持装置，是用于保持基板的基板保持装置，上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域，上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出，上述基板保持装置构成为在基板的板面朝向垂直方向的状态下从上方保持上述基板。
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