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非球面模具的抛光方法 

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申请/专利权人:成都光明南方光学科技有限责任公司

摘要:本发明提供一种非球面模具的抛光方法,该方法包括以下步骤:将非球面模具装夹到精密抛光机上;将抛光轴的角度控制在5‑10°、转速控制在80‑100rpm,工件轴转速控制在80‑100rmp,抛光轴和工件轴的转速保持一致,采用#12号钻石膏对非球面模具从边缘到中心再到边缘进行粗抛;将抛光轴的转速控制在80‑100rmp,工件轴转速控制在80‑100rmp,抛光轴和工件轴的转速保持一致,采用#14号钻石膏对非球面模具从边缘到中心再到边缘进行精抛。本发明通过控制抛光轴和工件轴转速以及抛光轴角度,并采用不同粒度的钻石膏依次对非球面模具进行粗抛和精抛,使得非球面模具的轮线数值≤25nm的标准。

主权项:1.非球面模具的抛光方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:1将非球面模具装夹到精密抛光机上;2将抛光轴的角度控制在5-10°,将抛光轴的转速控制在80-100rpm,工件轴转速控制在80-100rmp,抛光轴和工件轴的转速保持一致,采用#12号钻石膏对非球面模具从边缘到中心再到边缘进行粗抛;3将抛光轴的转速控制在80-100rmp,工件轴转速控制在80-100rmp,抛光轴和工件轴的转速保持一致,采用#14号钻石膏对非球面模具从边缘到中心再到边缘进行精抛。

全文数据:

权利要求:

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