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一种碲硒镉靶材、粉末及其制备方法 

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申请/专利权人:先导薄膜材料(广东)有限公司

摘要:本申请属于靶材制备技术领域,公开了一种碲硒镉靶材的制备方法,该方法先将硒化镉、碲化镉按5~7:3的摩尔比混合,制得粉体,再将粉体装模、预压、真空压结,得到素坯,最后将素坯真空烧结、冷却,得到碲硒镉靶材,上述方法通过提升原料中硒化镉的相对添加量,使制得的碲硒镉靶材中富含游离物,而因为上述游离物的存在,使得碲硒镉靶材获得比碲化镉更高的载流子寿命,同时再加上硒还具有钝化碲硒镉中的缺陷的作用,进而降低了碲硒镉靶材内部的缺陷数量,并且在一定程度上提升了靶材的相对密度,此外,本申请还公开了一种碲硒镉靶材、碲硒镉粉末及其制备方法。

主权项:1.一种碲硒镉靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将硒化镉、碲化镉按5~7:3的摩尔比混合,制得粉体;步骤2:将步骤1制得的粉体装模、预压、真空压结,得到素坯;步骤3:将步骤2制得的素坯真空烧结、冷却,得到碲硒镉靶材。

全文数据:

权利要求:

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