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申请/专利权人：郑州大学
摘要：本发明实施例公开了具有高迁移率的氧化铟锡锌靶材及其制备方法；方法包括对利用In2O3粉体、ZnO粉体、SnO2粉体以及掺杂金属氧化物粉体制备的球形造粒进行两步振荡压力烧结处理的步骤，具体包括：球形造粒粉在模具中在第一压力下预压；将预压的球形造粒粉加热至第一温度；在温度到达第一温度之前将施加到模具上的第一压力线性增加至第二压力；在第一温度、第二压力下执行第一次保温；在第一次保温阶段叠加频率为1～2Hz、振幅为5～10MPa的振荡压力；维持第二压力降温至第二温度；在第二温度、第二压力下执行第二次保温，施加与第一次保温阶段同样大小和频率的振荡压力；第二次保温阶段结束后，停止加热，去除外加振荡压力，降温至1000℃；然后随炉冷却至室温。
主权项：1.具有高迁移率的氧化铟锡锌靶材的制备方法，其特征在于，包括步骤：S1、In2O3粉体、ZnO粉体、SnO2粉体以及掺杂金属氧化物粉体制备成浆料；所述掺杂金属氧化物为具有不同价态的低电负性金属元素的氧化物；S2、浆料进行球磨；S3、球磨后的浆料与粘结剂混合，喷雾造粒得到球形造粒粉；S4、球形造粒粉经两步振荡压力烧结处理，得到具有高迁移率的氧化铟锡锌靶材；其中，所述两步振荡压力烧结处理包括：球形造粒粉在模具中在第一压力下预压；所述第一压力为5～8Mpa；将预压的球形造粒粉以5℃min的升温速率升加热至第一温度；在温度到达第一温度之前将施加到模具上的第一压力线性增加至第二压力，压力单次递增2～5MPa，增加速率不超过0.1MPamin；所述第一温度为1450～1500℃，所述第二压力为30～40MPa；在第一温度、第二压力下执行第一次保温阶段；在第一次保温阶段叠加频率为1～2Hz、振幅为5～10MPa的振荡压力；维持第二压力30～40MPa，以5℃min的降温速率降至第二温度；所述第二温度为1400～1450℃；在第二温度、第二压力下执行第二次保温阶段；其中，第二次保温阶段施加与第一次保温阶段同样大小和频率的振荡压力；第二次保温阶段结束后，停止加热，去除外加振荡压力，降温速率设定为8℃min，维持第二压力直至炉温降至1000℃；然后随炉冷却至室温。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 具有高迁移率的氧化铟锡锌靶材及其制备方法
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