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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于半导体材料领域，公开了一种氮化锌的制备方法，包括：于惰性氛围下加热锌单质使其汽化成为锌蒸汽；预加热氨气；当锌单质加热至800~900℃时，向反应体系内通入氨气，使锌蒸汽和氨气于惰性氛围下反应，沉积于反应体系底部的粉末即为氮化锌粉末。使锌升华成气态和氨气进行反应制备氮化锌，相对于现有技术中锌呈熔融态和氨气进行反应而言，本发明提供的制备方法中原料的反应面积大幅上升，反应效率也更为迅速，适用于批量生产。此外，本发明还公开了上述制备方法制得氮化锌。
主权项：1.一种氮化锌的制备方法，其特征在于，包括：于惰性氛围下加热锌单质使其汽化成为锌蒸汽；预加热氨气；当锌单质加热至800~900℃时，向反应体系内通入氨气，使锌蒸汽和氨气于惰性氛围下反应，沉积于反应体系底部的粉末即为氮化锌粉末。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氮化锌其制备方法
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