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申请/专利权人：爱思开矽得荣株式会社
摘要：公开了一种设计用于回收使用一段时间后丢弃的载体的载体回收方法，更具体地说，公开了一种载体再生方法，所述方法包括：插入部分离步骤，将待丢弃的载体浸渍在有机溶剂中以去除结合部并将主体和插入部彼此分离；表面粗糙度确保步骤，确保已经与插入部分离的主体的一个侧表面的表面粗糙度；厚度恢复步骤，使用PECVD工艺在具有经确保表面粗糙度的主体的一个侧表面上沉积类金刚石碳DLC涂层；以及插入部连接步骤，将插入部连接到其上沉积有DLC涂层的主体的外周上。
主权项：1.一种用于回收载体的载体回收方法，所述载体包括主体和通过粘合连接到所述主体外周的插入部，所述载体回收方法包括：插入部分离步骤，将待丢弃的载体浸渍在有机溶剂中以去除结合部并将主体和插入部彼此分离；表面粗糙度确保步骤，确保已经与插入部分离的主体的一个侧表面的表面粗糙度；厚度恢复步骤，使用PECVD工艺在具有经确保表面粗糙度的主体的一个侧表面上沉积类金刚石碳DLC涂层；以及插入部连接步骤，将插入部连接到其上沉积有DLC涂层的主体的外周上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 爱思开矽得荣株式会社 载体回收方法
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