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多晶硅还原炉喷嘴及多晶硅还原炉 

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申请/专利权人:新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种多晶硅还原炉喷嘴及多晶硅还原炉,可以降低进料气体在经过多晶硅还原炉喷嘴时的流速衰减速率,提高气体的喷射高度。该多晶硅还原炉喷嘴具有内孔,所述内孔包括依次连通的进气段1、过渡段2、稳流段3和锥形收口段4。在所述多晶硅还原炉喷嘴的纵截面中,沿气体的流向,内孔的孔径逐步缩小。其中,所述进气段1为直筒状,所述过渡段2的内径尺寸由大变小,所述过渡段2的内壁包括依次连接的第一圆弧和第二圆弧,所述第一圆弧与所述进气段1的内壁和所述第二圆弧分别相切,所述第二圆弧还和所述稳流段3的内壁相切。

主权项:1.一种多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述多晶硅还原炉喷嘴具有内孔,所述内孔包括依次连通的进气段1、过渡段2、稳流段3和锥形收口段4;在所述多晶硅还原炉喷嘴的纵截面中,沿气体的流向,内孔的孔径逐步缩小;其中,所述进气段1为直筒状,所述过渡段2的内径尺寸由大变小,所述过渡段2的内壁包括依次连接的第一圆弧和第二圆弧,所述第一圆弧与所述进气段1的内壁和所述第二圆弧分别相切,所述第二圆弧还和所述稳流段3的内壁相切。

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权利要求:

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