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申请/专利权人:上海福赛特技术股份有限公司
摘要:本实用新型公开了一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置,其中,蓝膜张紧装置包括:固定组件,用于固定蓝膜的边缘位置;顶出组件,位于蓝膜远离吸嘴的一侧,包括顶出杆,所述顶出杆靠近蓝膜的一端设置有真空吸孔,所述真空吸孔通过真空通道连接至真空发生器;所述顶出杆连接驱动件,驱动件能够带动所述顶出杆朝着远离或者靠近蓝膜的方向移动。本实用新型提供一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置,采用真空吸孔带动蓝膜稳定回缩,避免蓝膜发生震动,提高晶粒分选效率。
主权项:1.一种蓝膜张紧装置,其特征在于,包括:固定组件,用于固定蓝膜的边缘位置;顶出组件,位于蓝膜远离吸嘴的一侧,包括顶出杆,所述顶出杆靠近蓝膜的一端设置有真空吸孔,所述真空吸孔通过真空通道连接至真空发生器;所述顶出杆连接驱动件,驱动件能够带动所述顶出杆朝着远离或者靠近蓝膜的方向移动。
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百度查询: 上海福赛特技术股份有限公司 一种蓝膜张紧装置及其形成的晶粒分选装置
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