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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆键合加压装置。包括机架、电机、丝杠螺母机构、压力传感器以及压板。电机安装在所述机架上。丝杠螺母机构包括丝杠和加压螺母，所述丝杠的一端与所述电机的输出轴连接，另一端与所述加压螺母螺纹连接。压力传感器设置在所述加压螺母远离所述电机的一侧，所述压力传感器与所述电机电连接。压板设置在所述压力传感器远离所述加压螺母的一侧。本申请通过丝杠螺母机构和压力传感器的设置，能够对施加在晶圆上的压力进行实时控制，从而提高压力调节精度，进一步提高晶圆键合成品的质量。
主权项：1.一种晶圆键合加压装置，其特征在于，所述晶圆键合加压装置包括：机架；电机，安装在所述机架上；丝杠螺母机构，包括丝杠和加压螺母，所述丝杠的一端与所述电机的输出轴连接，所述加压螺母与所述丝杠螺纹连接；压力传感器，设置在所述加压螺母远离所述电机的一侧，所述压力传感器与所述电机电连接；以及压板，设置在所述压力传感器远离所述加压螺母的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 晶圆键合加压装置
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