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真空腔体的开合结构 

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申请/专利权人:易科微电子(深圳)有限公司

摘要:本实用新型涉及一种真空腔体的开合结构,伸缩支撑组件两端分别与底板和腔盖固定连接;气动伸缩组件两端分别与底板和腔盖固定连接;伸缩支撑组件与气动伸缩组件分别位于合页组件的两侧,当气动伸缩组件活动时,它推动腔盖绕合页组件运动。气动伸缩组件的运动同时带动伸缩支撑组件相对运动,确保腔盖在开合过程中稳定且均匀移动。由气动伸缩组件自动驱动腔盖开合,减少了操作员的体力劳动。自动化过程减少了操作时间,提高了整体工作效率。伸缩支撑组件确保了腔盖在开合过程中的平稳运动,避免了突然的移动或关闭,从而提高了操作的安全性和可靠性。提高操作的效率和安全性,同时减轻操作员的体力负担。

主权项:1.一种真空腔体的开合结构,其特征在于,所述真空腔体的开合结构包括:底板,设于腔体主体上;合页组件,一端设于所述底板上;腔盖,与所述合页组件远离所述底板的一端固定连接;伸缩支撑组件,两端分别与所述底板和所述腔盖固定连接;气动伸缩组件,两端分别与所述底板和所述腔盖固定连接;所述伸缩支撑组件与所述气动伸缩组件分别位于所述合页组件的两侧;其中,所述气动伸缩组件运动,以驱动所述腔盖绕所述合页组件运动,带动所述伸缩支撑组件相对运动,以开合所述腔盖。

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