龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：一种用于使位于真空腔室内的静电吸盘放电的设备，所述设备包括等离子体分配单元，所述等离子体分配单元被配置为从位于真空腔室外部的外部等离子体源接收等离子体，并且在真空腔室内执行使静电吸盘放电的对等离子体的分配。所述设备还包括控制器，所述控制器用于控制对等离子体的分配；其中对等离子体的分配在比静电吸盘的基于等离子体的清洁工艺的持续时间更短的等离子体分配时段期间发生。
主权项：1.一种用于使位于真空腔室内的静电吸盘放电的设备，所述设备包括：等离子体分配单元，所述等离子体分配单元被配置为从位于所述真空腔室外部的外部等离子体源接收等离子体，并且在所述真空腔室内执行使所述静电吸盘放电的对所述等离子体的分配；以及控制器，所述控制器用于控制对所述等离子体的所述分配；其中对所述等离子体的所述分配在比所述静电吸盘的基于等离子体的清洁工艺的持续时间更短的等离子体分配时段期间发生。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 使位于真空腔室内的静电吸盘放电
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号