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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺。本发明利用磁控溅射法制备TiO2电子传输层薄膜，利用近空间升华法在TiO2衬底上沉积高质量硫化锑吸收层薄膜。该方法优势在于：1所有功能层均采用全真空工艺制备，确保了薄膜的均匀性、重复性以及良好的结晶性；2利用TiO2的宽带隙～3.2eV、无毒性和优异的稳定性代替传统CdS电子传输层，实现了环境友好型硫化锑薄膜太阳能电池的制备；3相对于传统溶液法，全真空快速沉积工艺具有优异的便捷性和高利用率特性，具备实现高通量制备和大规模工业化的潜力。器件结构自下而上依次为导电玻璃TiO2电子传输层硫化锑吸收层背电极。
主权项：1.一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺，其特征在于：通过磁控溅射法制备TiO2电子传输层薄膜和近空间升华法制备硫化锑吸收层薄膜，构筑顶衬结构太阳能电池，器件结构自下而上依次为导电衬底二氧化钛电子传输层硫化锑吸收层背电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种环境友好型超薄太阳能电池的全真空快速沉积工艺
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