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申请/专利权人：通威太阳能(安徽)有限公司
摘要：本发明提供了一种太阳能电池的制备方法、太阳能电池及发电装置。该太阳能电池的制备方法包括如下步骤：将P型掺杂的硅片置于反应腔室中，在P型掺杂的硅片表面形成N型掺杂层；向反应腔室中通入磷源，控制磷源的流速为1200sccm～1500sccm，并加热硅片以在N型掺杂层表面形成磷硅玻璃层；采用激光掺杂硅片，使磷硅玻璃层中的磷原子扩散入N型掺杂层；去除磷硅玻璃层，在硅片表层上经激光掺杂的部位形成栅线电极，进行烧结处理。该太阳能电池的制备方法中采用了特定的扩散工艺，使得硅片表面磷硅玻璃层的磷含量得到了提高，有助于克服传统技术的丝印烧结会限制太阳能电池效率和良率的问题。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将P型掺杂的硅片置于反应腔室中，在所述硅片表面形成N型掺杂层；向所述反应腔室中通入磷源，控制所述磷源的流速为1200sccm～1500sccm，使所述磷源与所述硅片反应以在所述N型掺杂层表面形成磷硅玻璃层；采用激光掺杂所述硅片上用于丝印栅线电极的部位，使被激光掺杂部位的所述磷硅玻璃层中的磷原子扩散入所述N型掺杂层；去除所述磷硅玻璃层，在所述硅片表层上用于丝印栅线电极的部位形成栅线电极，进行烧结处理，在烧结时，控制烧结温度为760℃～800℃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通威太阳能(安徽)有限公司 太阳能电池的制备方法、太阳能电池及发电装置
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