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申请/专利权人：天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司
摘要：本申请涉及一种清扫装置和太阳能电池加工系统。清扫装置包括气体分配仓和多个吹气通道，气体分配仓与气源相连通，气体分配仓设置于壳体上。吹气通道一端与气体分配仓相连通，另一端与壳体的内腔相连通，吹气通道的出口朝向设置于内腔中工件的待清扫缝隙。气体分配仓将气体分配至各个吹气通道，从而使气体朝向各个待清扫缝隙进行吹扫，气流分布更加均匀，使得气体对工件上各个位置的待清扫缝隙的清扫更加均匀，从而使工件上各个位置的气体浓度相近，气体与工件表面能充分作用，减少了某一位置清洗不彻底导致的杂质残留，减少了工件表面的白点或膜厚不均匀等外观问题，也使气体对工件表面的清扫更加充分，减少杂质粘附，减少了工件表面的污染。
主权项：1.一种清扫装置，其特征在于，所述清扫装置包括：气体分配仓（1），所述气体分配仓（1）与气源相连通，所述气体分配仓（1）设置于壳体（3）上；多个吹气通道（2），所述吹气通道（2）一端与所述气体分配仓（1）相连通，另一端与壳体（3）的内腔相连通，所述吹气通道（2）的出口朝向设置于所述内腔中工件（4）的待清扫缝隙（41）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 天合光能(宿迁)光电有限公司 清扫装置和太阳能电池加工系统
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