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申请/专利权人:天合光能股份有限公司;天合光能(宿迁)光电有限公司
摘要:本申请涉及一种清扫装置和太阳能电池加工系统。清扫装置包括气体分配仓和多个吹气通道,气体分配仓与气源相连通,气体分配仓设置于壳体上。吹气通道一端与气体分配仓相连通,另一端与壳体的内腔相连通,吹气通道的出口朝向设置于内腔中工件的待清扫缝隙。气体分配仓将气体分配至各个吹气通道,从而使气体朝向各个待清扫缝隙进行吹扫,气流分布更加均匀,使得气体对工件上各个位置的待清扫缝隙的清扫更加均匀,从而使工件上各个位置的气体浓度相近,气体与工件表面能充分作用,减少了某一位置清洗不彻底导致的杂质残留,减少了工件表面的白点或膜厚不均匀等外观问题,也使气体对工件表面的清扫更加充分,减少杂质粘附,减少了工件表面的污染。
主权项:1.一种清扫装置,其特征在于,所述清扫装置包括:气体分配仓(1),所述气体分配仓(1)与气源相连通,所述气体分配仓(1)设置于壳体(3)上;多个吹气通道(2),所述吹气通道(2)一端与所述气体分配仓(1)相连通,另一端与壳体(3)的内腔相连通,所述吹气通道(2)的出口朝向设置于所述内腔中工件(4)的待清扫缝隙(41)。
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权利要求:
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