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申请/专利权人:恒言(无锡)新材料有限公司
摘要:本实用新型公开了一种超纯硅干粉闭环负压密相气力连续输送系统,包括可密封的入料仓,旋转阀,储料仓,气固分离器,真空泵及常压储气罐相互连通设置,本系统为封闭式循环系统,入料仓及储料仓分别与惰性气源连通,惰性气源向入料仓及储料仓内部输送惰性气体,惰性气体在输送系统内部达到预定浓度及压力,系统内物料在惰性气体作用下可进行高效输送,自入料仓输送至储料仓,本气力输送系统为封闭式闭环负压密相气力输送系统,避免了杂质及金属离子引入,同时避免了物料与空气接触易被氧化的问题,提高了超纯硅干粉输送效率及质量。
主权项:1.一种超纯硅干粉闭环负压密相气力连续输送系统,其特征在于:包括可密封的入料仓1,所述入料仓1下部排料端连通设有旋转阀2,所述旋转阀2排料端通过输送管路与储料仓3进料口连通,所述储料仓3为可密封的储料腔体,所述储料仓3上部连通设有气固分离器4,所述气固分离器4排气端与真空泵5吸气端连通,所述真空泵5排气端与常压储气罐6进气端连通,所述常压储气罐6排气端与所述旋转阀2进气端连通,所述入料仓1及储料仓3分别与惰性气源7连通,所述惰性气源7向所述入料仓1及储料仓3内部输送惰性气体。
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