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申请/专利权人：江苏索力德普半导体科技有限公司
摘要：ED3模块DBC组装载盘，包括载盘，用于承载零件，载盘底部沿其长度方向设置有第一导气槽，载盘底部沿其宽度方向设置有第二导气槽；其中，第一导气槽和第二导气槽相互连通，第一导气槽和第二导气槽的宽度和深度相同，载盘的厚度为d，第一导气槽的深度为d20‑2d15，第一导气槽的宽度为d20‑d6，第一导气槽和第二导气槽之间具有夹角。本实用新型载盘底部的空气通过第一导气槽和第二导气槽流通，多个第一导气槽和多个第二导气槽相互配合，使得载盘底部的空气快速流通，使得载盘和平台之间不会产生吸附力，在吸取载盘时，采用较小的吸取力就能把载盘吸取起来，便于快速吸取起载盘。
主权项：1.ED3模块DBC组装载盘，其特征在于，包括：载盘1，用于承载零件，载盘1底部沿其长度方向设置有第一导气槽2，载盘1底部沿其宽度方向设置有第二导气槽3；其中，第一导气槽2和第二导气槽3相互连通，第一导气槽2和第二导气槽3的宽度和深度相同，载盘1的厚度为d，第一导气槽2的深度为d20-2d15，第一导气槽2的宽度为d20-d6，第一导气槽2和第二导气槽3之间具有夹角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏索力德普半导体科技有限公司 ED3模块DBC组装载盘
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