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摘要：本申请涉及基于高居里温度钛酸钡薄膜的电光调制器及其制备方法，钛酸钡光波导层设置在衬底上，钛酸钡光波导层具有脊部；钛酸钡光波导层中掺杂有二氧化钛晶体；电极设置在钛酸钡光波导层上，且脊部的两侧均设有电极；上包层覆盖于钛酸钡光波导层和电极上。本申请结合薄膜应变工程和钛酸钡在高温时出现相变原理，不同晶体之间提供一定的化学或机械应力，采用二氧化钛晶体掺杂的钛酸钡薄膜作为调制器的波导层，其具有较大的使用温度范围，从而实现调制器在高温下工作。本申请通过利用二氧化钛晶体与钛酸钡相近晶体结构的特点，使得二氧化钛掺杂钛酸钡晶体薄膜在晶体结晶时可尽量保证较少的氧空位出现，减少薄膜缺陷，可进一步保证了薄膜的质量。
主权项：1.一种基于高居里温度钛酸钡薄膜的电光调制器，其特征在于，其包括：衬底1；钛酸钡光波导层3，其设置在所述衬底1上，所述钛酸钡光波导层3具有脊部30；所述钛酸钡光波导层3中掺杂有二氧化钛晶体；电极4，所述电极4设置在所述钛酸钡光波导层3上，且所述脊部30的两侧均设有所述电极4；上包层5，所述上包层5覆盖于所述钛酸钡光波导层3和电极4上。
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百度查询： 武汉邮电科学研究院有限公司 基于高居里温度钛酸钡薄膜的电光调制器及其制备方法
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