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薄膜镜面及其制备方法 

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摘要:本发明提供了一种薄膜镜面,可应用于光学薄膜技术领域,包括:基底,第一反射层,位于基底的第一表面上;第二反射层,位于基底的第二表面上;保护层,位于第一反射层远离基底的一侧;以及端接结构,位于基底的第二表面上,且端接结构与基底为一体化结构,其中,第一表面和第二表面为基底相对的两个表面。通过端接结构的设置,吸收和缓解装配过程中产生的机械应力,防止镜面在装配过程中变形;通过双面镀膜来抵消膜层之间的应力影响,进而提高镜面的稳定性;以及通过在反射层上覆盖一层保护层,增强镜面的耐用性和稳定性。本发明还提供了一种薄膜镜面的制备方法。

主权项:1.一种薄膜镜面,其特征在于,包括:基底,第一反射层,位于所述基底的第一表面上;第二反射层,位于所述基底的第二表面上;保护层,位于所述第一反射层远离所述基底的一侧;以及端接结构,位于所述基底的第二表面上,且所述端接结构与所述基底构成一体化结构,其中,所述第一表面和所述第二表面为所述基底相对的两个表面。

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百度查询: 中国科学院半导体研究所 薄膜镜面及其制备方法

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