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摘要：本发明公开了一种光学镜面在线检测方法及检测装置，所述光学镜面在线检测方法使用共焦检测原理，通过变焦镜组获取光学镜面图像，使用图像放大装置将光学镜面图像放大，最后对放大后的图像进行检测，定位和标定损伤点；所述光学镜面在线检测装置包括指示光源、反光镜、分光镜、变焦镜组和图像检测单元，图像检测单元包括图像放大装置和图像检测组件，分光镜和反光镜分别安装在变焦组件的上方和下方；图像放大装置、图像检测组件顺序固定在分光镜的反射光路上；本发明同时对光学镜面扫描检测和精细检测，检测精度高，检测装置整体结构简单紧凑，体积小，可显著提高激光待检测光路的检测效率。

主权项：1.一种光学镜面在线检测方法，其特征在于：包括步骤：S01、采用具有细光束与大光斑两种模式的指示光源，将指示光源调整为细光束模式，以指示光源发出的指示光作为基准光，指示光源的入射光路在到达光学镜面之前通过一变焦镜组，指示光源的光路与变焦镜组主光轴重合；调整光学镜面位置，使光学镜面的反射光路与指示光源的入射光路重合；通过反光镜调整指示光源的入射光路、光学镜面反射光路方向，使指示光源的入射光路和光学镜面的反射光路重合；S02、将指示光源调整为大光斑模式，使指示光源发出的指示光覆盖光学镜面；S03、通过调整变焦镜组的焦距，使光学镜面在变焦镜组的成像面成像；S04、使用图像放大装置将变焦镜组获取的光学镜面成像放大；S05、使用图像检测组件显示放大后的光学镜面成像，判断光学镜面表面是否存在缺陷；检测装置包括指示光源（2）、分光镜（5）、变焦镜组（6）、反光镜（7）和图像检测单元，指示光源（2）固定在变焦镜组（6）上方，指示光源（2）的光路与变焦镜组（6）主光轴重合；分光镜（5）斜放于指示光源（2）与变焦镜组（6）之间，半透面向下，反光镜（7）斜放于变焦镜组（6）下方，反射面向上；所述图像检测单元包括图像放大装置（8）和图像检测组件（9），二者处于分光镜（5）的水平反射光路上，图像放大装置（8）位于图像检测组件（9）和分光镜（5）之间。

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百度查询： 南京先进激光技术研究院 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种光学镜面在线检测方法及检测装置