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申请/专利权人：佛山市佛欣真空技术有限公司
摘要：本发明公开了一种用于真空镀膜机的抽气口结构，包括：真空腔室，在真空腔室的外周壁设置有抽气口，抽气口为呈上下延伸的长形口结构，在抽气口处设置有调节阀板，调节阀板可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于抽气口处，抽气口的外侧连接有抽气罩，抽气罩设置有进气口和出气口，进气口与抽气口匹配连接。通过转动调节阀板来使得调节阀板的竖直侧边与抽气口之间形成过流间隙，过流间隙使得真空腔室上、中、下部的抽气流通面积相同，进而令真空腔室上、中、下部的抽气更加均匀，避免出现真空腔室内上、中、下的镀膜膜层的色差问题，同时根据实际的加工情况，转动调节阀板调节过流间隙的气体流通面积，无需通过抽气动力装置来调节。
主权项：1.一种用于真空镀膜机的抽气口结构，其特征在于：其包括：呈竖直设置的真空腔室100，在所述真空腔室100的外周壁设置有至少一个抽气口110，所述抽气口110为呈上下延伸的长形口结构，在所述抽气口110处设置有调节阀板120，所述调节阀板120可绕竖直的旋转轴线可转动调节地设置于所述抽气口110处，所述抽气口110的外侧连接有抽气罩130，所述抽气罩130设置有进气口140和出气口150，所述进气口140与所述抽气口110匹配连接；所述旋转轴线与调节阀板120上下两端中心的连线共线；所述调节阀板120的上下两端分别通过转动轴121与抽气罩130转动连接；所述调节阀板120传动连接有驱动调节组件，所述驱动调节组件用于驱动调节阀板120绕所述旋转轴线转动；所述驱动调节组件为电机160，所述电机160的输出轴与调节阀板120连接；所述出气口150设置于抽气罩130与进气口140相对一侧的中部位置；在所述真空腔室100的外周壁设置有多个所述抽气口110，多个所述抽气口110呈环形间隔排列设置；调节阀板120的尺寸小于抽气口110的尺寸。
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权利要求：
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