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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了抽气环及其组装方法、反应腔室及薄膜沉积方法。所述抽气环包括：内环，其上分布有的多个内抽气孔；外环，其上分布有多个外抽气孔，并经由设于外侧环状抽气管道的至少一端的抽气口连接真空泵；以及至少一个挡板，沿周向设于所述内环与所述外环之间靠近所述抽气口的位置，用于阻隔靠近所述抽气口的至少一个第一内抽气孔向靠近所述抽气口的至少一个第一外抽气孔的气路，以提升所述第一内抽气孔与所述第一外抽气孔之间的气体流阻。
主权项：1.一种抽气环，其特征在于，包括：内环，其上分布有的多个内抽气孔；外环，其上分布有多个外抽气孔，并经由设于外侧环状抽气管道的至少一端的抽气口连接真空泵；以及至少一个挡板，沿周向设于所述内环与所述外环之间靠近所述抽气口的位置，用于阻隔靠近所述抽气口的至少一个第一内抽气孔向靠近所述抽气口的至少一个第一外抽气孔的气路，以提升所述第一内抽气孔与所述第一外抽气孔之间的气体流阻。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 抽气环及其组装方法、反应腔室及薄膜沉积方法
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