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申请/专利权人：康宁公司
摘要：一种暂时性板接合方法包括通过将第一板浸渍至包含表面活性剂的接合溶液中来将暂时性接合层200浸涂在所述第一板100上及通过所述暂时性接合层将第二板300暂时性地接合至所述第一板。所述表面活性剂包括溴化十六烷基三甲基铵或聚[氯化‑3‑甲基‑1‑乙烯基咪唑‑共‑1‑乙烯基吡咯啶酮]。板浸涂设备包括接合溶液浴410，含有表面活性剂的接合溶液含于所述接合溶液浴中；匣430，多个第一板将装载至所述匣中；以及驱动器，所述驱动器被配置以使所述匣向上向下移动。所述驱动器循序地使所述匣向下移动以将所述第一板浸没在所述接合溶液中，使所述匣向上移动直至所述第一板自所述接合溶液移除，且使所述匣向上且远离所述接合溶液的表面移动。
主权项：1.一种暂时性板接合方法，包含：通过将第一板浸渍至包含表面活性剂的接合溶液中将暂时性接合层浸涂在所述第一板上；以及通过暂时性接合层将第二板暂时性地接合至所述第一板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 康宁公司 暂时性板接合方法与设备
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