首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:浙江大学

摘要:本发明公开了一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统。待检样品和超声换能器均安装在X‑Y‑Z轴扫描台上,通过计算机实现对待检样品的三轴运动控制,锁相放大器和信号发生器在计算机的控制下产生直流偏置电压和正弦信号,超声换能器在正弦信号激励下产生超声波,隧穿电极在直流偏置电压作用下产生隧穿电流信号,经由待检样品亚表面特征干扰下的超声波对隧穿电流信号造成扰动,使得隧穿电极输出超声扰动量子隧穿电流信号,信号解调后再输入到计算机中的成像模块进行超分辨显微成像。本发明通过纳米间隙隧穿电极针尖本身实现对样品亚表面纳米特征声波信息的捕获,从而获得突破现有声学无损超分辨率成像限制的亚5nm横向分辨率成像。

主权项:1.一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统,其特征在于:包括计算机(1)、X-Y-Z轴扫描台(3)、超声换能器(4)和信号激励模块;超声换能器(4)固定安装在X-Y-Z轴扫描台(3)的上表面,含有亚表面特征的待检样品(5)放置在超声换能器(4)上,X-Y-Z轴扫描台(3)受控于计算机(1),通过计算机(1)实现对放置在X-Y-Z轴扫描台(3)上的待检样品(5)的X-Y-Z三轴运动控制;计算机(1)和超声换能器(4)均与信号激励模块之间电连接,信号激励模块在计算机(1)的控制下产生正弦激励信号和隧穿电流信号,超声换能器(4)在正弦激励信号的激励下产生作用于待检样品(5)的超声波,所述超声波在待检样品(5)亚表面特征的干扰下对隧穿电流信号造成扰动,被扰动的带有亚表面特征信息的隧穿电流信号输入至计算机(1)的成像模块(10)中,成像模块(10)通过所述带有亚表面特征信息的隧穿电流信号对待检样品(5)中的亚表面特征进行超分辨显微成像并显示。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江大学 一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。