首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:昆山文正金属科技有限公司

摘要:本发明涉及废液提纯的技术领域,并公开了一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备,包括过滤箱以及与所述过滤箱平行安装的提纯箱,所述过滤箱的内部设置有过滤清洁机构,所述过滤清洁机构包括设置在所述过滤清洁机构底端的过滤辊筒,所述过滤辊筒的外侧搭接有清洁刷毛。该晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备,通过支撑杆带动转动套的往复上下运动,清洁刷毛从而能实现对过滤辊筒的往复刷洗,避免过滤辊筒的表面附着杂质,同时也避免了传统过滤设备在清洗时需要将过滤结构整体取下,操作不便的问题。

主权项:1.一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备,包括过滤箱1以及与所述过滤箱1平行安装的提纯箱2,其特征在于:所述过滤箱1的内部设置有过滤清洁机构5,所述过滤清洁机构5包括设置在所述过滤清洁机构5底端的过滤辊筒57,所述过滤辊筒57的外侧搭接有清洁刷毛510;所述过滤清洁机构5的内部且位于所述驱动电机4的下方连接有安装块51,所述安装块51的下方固定连接有连接轴52,所述连接轴52的外侧固定连接有连接杆53,所述连接杆53的一端连接在所述连接轴52上,另一端端头固定连接有驱动泵54,所述驱动泵54的下方活动连接有支撑杆55,所述支撑杆55的外表面套接有转动套56,所述支撑杆55的底端连接有所述过滤辊筒57。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 昆山文正金属科技有限公司 一种晶圆清洗废液过滤及蒸凝提纯循环设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。