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申请/专利权人：英特尔NDTM美国有限公司
摘要：本发明提供了一种每片晶圆对应的机台参数的自动调整方法、设备和系统。该方法包括：通过监测生产机台和机台腔体的行为来捕获每片晶圆的实时端点检测数据；根据每片晶圆的历史端点检测数据和动态监测算法来计算调整的机台参数；在产品运行期间，根据所述调整的机台参数进行每片晶圆对应的机台参数的实时调整。本发明的方案通过调整机台参数，实时自动调整晶圆生产的参数，以节省人力资源，并防止人为错误，还可以将端点检测数据维持在稳定的性能状态，从而可以提高晶圆产出的良率。
主权项：1.一种每片晶圆对应的机台参数的自动调整方法，所述方法包括：通过监测生产机台和机台腔体的行为来捕获每片晶圆的实时端点检测数据；根据每片晶圆的历史端点检测数据和动态监测算法来计算调整的机台参数；在产品运行期间，根据所述调整的机台参数进行每片晶圆对应的机台参数的实时调整。
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权利要求：
百度查询： 英特尔NDTM美国有限公司 每片晶圆对应的机台参数的自动调整方法、设备和系统
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