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一种复合测试方法和复合测试设备 

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申请/专利权人:红与蓝半导体(佛山)有限公司

摘要:本发明提供一种复合测试方法,包括:步骤S1、获取待测器件,根据所述待测器件确定待测器件的待测器件参数类型;步骤S2、在待测器件参数类型中选取待测器件参数类型,基于所述待测器件参数确定第一组待测参数;步骤S3、重复步骤S2,直至获取N组待测参数和M个待测参数;步骤S4、基于M个待测参数,在所述待测器件上划分出若干个测试单元,每个测试单元通过测试引脚与测试机构通信连接,所有测试机构覆盖全部待测参数;步骤S5、通过测试机台控制每个测试单元的状态,每个测试单元的状态互相独立,实现所有待测参数的测试。本发明还包括对应的一种复合测试设备。本发明提供的一种复合测试方法和设备测试效率高、开销较低。

主权项:1.一种复合测试方法,所述复合测试方法用于测试化合物半导体器件,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1、获取待测器件,根据所述待测器件确定待测器件的N种待测器件参数类型,N为正整数;步骤S2、在N种待测器件参数类型中选取第一种待测器件参数类型,基于所述第一种待测器件参数确定第一组待测参数;步骤S3、重复步骤S2,直至依次获取与N种待测器件参数类型一一对应的N组待测参数,所述待测器件共包括M个待测参数,M为正整数;步骤S4、基于M个待测参数,在所述待测器件上划分出若干个测试单元,每个测试单元通过测试引脚与测试机构通信连接,所有测试机构覆盖全部待测参数,测试机构与测试单元一一对应,每个测试机构的结构完全相同,且每个测试单元的结构完全相同;步骤S5、通过测试机台控制每个测试单元的状态,每个测试单元的状态互相独立,实现所有待测参数的测试。

全文数据:

权利要求:

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